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無油真空泵常見應(yīng)用領(lǐng)域

點(diǎn)擊次數(shù):3276 更新時間:2014-05-19

無油真空泵常見應(yīng)用領(lǐng)域
產(chǎn)品說明:
         無油真空泵又名無油干式真空泵,屬于干式真空泵,(又簡稱干式機(jī)械泵)
從上一次的峰會,到近日的國家兩會,走在提出:低碳、環(huán)保。節(jié)能的環(huán)保理念。油潤滑真空泵的使用會排出一定的二氧化碳和廢氣。在真空行業(yè)中,我們都建議使用干式泵
工作原理
         
無油真空泵由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子,偏心地安裝在定缸內(nèi),當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時,轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室,由于離心力作用,旋片緊貼在缸壁,把定子進(jìn)排出口分離開來,周而復(fù)始運(yùn)轉(zhuǎn),進(jìn)行變?nèi)荩瑢⑽霘怏w,從排氣口排出,從而達(dá)到抽氣目的
無油真空泵常見應(yīng)用領(lǐng)域:
1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;
4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;
5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。

東莞比其爾KEKEER供應(yīng)中國臺灣進(jìn)口BKV無油真空泵,小型真空泵:
     BKV-140V/H、BKV-180V/H、BKV-200V/H  BKV-230V/H
     BKV-0010、BKV0021、BKV0025、BKV0040、BKV0063、BKV0100、BKV0160、BKV0202、BKV0250、BKV0302、BKV0305 、BKV1-P-V-**、BKV3-P-V-**、BKV5-P-V-**、BKV6-P-V-**、BKV7A-P-V-** 。更多型號請我司。

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